特發性肺纖維化無明確病因，根據目前的研究結果發現某些易感因素，如吸菸、胃食管反流者，易發生特發性肺纖維化。發病機制到目前仍不清楚，多為內因、外因共同作用的結果。內因指易發生特發性肺纖維化的基因背景，外因指吸菸、病毒感染、空氣汙染以及老齡化等，內外因素共同作用，導致肺泡上皮細胞損害，最終引起肺泡結構破壞，發生不可逆的肺纖維化病變。